发布日期:2023-11-03 浏览次数:626
仪器设备档案卡
光谱椭偏仪
SE-VM-L
武汉颐光科技
公共分析测试平台1
正常
1、光谱范围:210~1650nm;可测厚度范围:1nm-10μm; 2、测量时间:<15秒/次(可调),膜厚重复精度:优于 0.005nm;折射率重复精度:0.0002; 3、入射角范围:45-90°(5°进步); 4、入射角调节方式:手动变角,手动找焦。
1、光谱范围:210~1650nm;可测厚度范围:1nm-10μm;
2、测量时间:<15秒/次(可调),膜厚重复精度:优于 0.005nm;折射率重复精度:0.0002;
3、入射角范围:45-90°(5°进步);
4、入射角调节方式:手动变角,手动找焦。