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台式扫描电子显微镜
发布日期:2022-07-20 浏览次数:1040
仪器设备档案卡
仪器名称 |
台式扫描电子显微镜 |
仪器型号 |
EM-30+ |
生产厂家 |
COXEMCO.,LTD |
购置日期 |
2022.5.25 |
放置地点 |
|
仪器工作状态 |
正常 |
技术参数 |
分辨率: 5.0nm @30kV SE 放大倍数: 15x – 150,000x 加速电压: 1kv - 30kv(step1kV) 磁透镜系统: 双聚光镜 物镜光阑: 4位可移动,摇摆对中 扫描光栅电位移及旋转: +/-50um ,0-360° 样品室: 6个接口,可接配内外置EDS。 样品台: X=35mm(马达驱动) Y= 35mm(马达驱动) T=0-45°(马达驱动) R=360° Z=5-50mm 样品尺寸(最大): 70mm (W) x 45mm (H) |
功能特色 |
EM-30+高分辨率台式(桌面式)扫描电镜采用大型钨灯丝电镜光路设计,两级透镜一级物镜汇聚,使用二次电子探测器作为基础成像单元。二次电子探测器采集器采用侧位契合式设计,在保证采集信其二次电子分辨率可达全业内最高的5.0nm @30kv SE。EM-30+标配SE+BSE探测器,可以同时刻进行二次电子像和背散射电子像收集,既能实现对样品形貌衬度分析、元素衬度进行分析,又能实现将二者相结合进行分析,打破了传统台式电镜只能得到样品单一衬度像的瓶颈。 |